Bei Bearbeitungsverfahren wie Schleifen oder Hartdrehen kann die Randzone eines Werkstücks durch die während des Prozesses entstehende Wärme und mechanische Belastung beeinflusst werden. Dadurch kann sich die Materialstruktur im oberflächennahen Bereich verändern und es können Spannungen im Material entstehen. Diese Veränderungen werden als geschädigte Randzone bezeichnet und können die Funktion und Belastbarkeit eines Bauteils beeinträchtigen.

Beim Superfinish handelt es sich dagegen um ein thermisch neutrales Bearbeitungsverfahren. Während des Prozesses wird das Werkzeug mit relativ geringem Druck auf die rotierende Werkstückoberfläche aufgebracht und führt eine oszillierende Bewegung aus. Durch diese Bearbeitungsweise entsteht keine Schädigung der oberflächennahen Materialstruktur.

Stattdessen wird beim Superfinish die ursprüngliche Gefügestruktur wieder freigelegt. Gleichzeitig können sich Druckeigenspannungen in der Oberfläche bilden, die das Funktionsverhalten stark beanspruchter Bauteile verbessern.