端面超精研磨加工主要是用杯形砂轮加工工件表面的过程。首先，工件被夹紧在卡盘中并进行旋转。然后，旋转的杯形砂轮被精确地推进到工件表面。

精确的滑轨允许超精研磨装置在多个方向上进行调整，从而除了使工件有了进行凹形或凸形变动外，还使其具有典型的“交叉网纹”图案。凭借这些能力可以制造出一个平滑的、凹陷的、凸起的或球面的表面。双端面磨削与端面超精研磨加工的一个主要区别是，在后一种加工过程中，刀具在零件加工过程中是自修整的，不需要进行常规的砂轮修整。